D07-15質量流量控制器可以應用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質量流量，質量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質量流量。D07-15是七星流量計專門針對客戶對流量穩定性的需求研發的高穩流型產品。
D07-15質量流量控制器可以應用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質量流量，質量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質量流量。D07-15是七星流量計專門針對客戶對流量穩定性的需求研發的高穩流型產品。
特點
• 高穩流型
• 小體積，低波動
• 橡膠密封、模擬電路的MFC
• 采用P20金手指插頭
D07-15質量流量控制器技術參數
項 目 | D07-15 | D07-15A |
流量規格 | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | |
準確度 | ±1% F.S. | |
線性 | ±0.5% F.S. | |
重復精度 | ±0.2% F.S. | |
響應時間 | ≤4 sec | |
工作壓差范圍 | (0.1 ~ 0.3) MPa | |
大工作壓力 | 0.5 | |
耐壓 | 3 MPa | |
工作環境溫度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ | |
輸入輸出信號 | 0 V ~ +5.00 V(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA) | |
電源 | +15V 50mA | |
重量 | 0.85 kg | 0.9 kg |
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