氣體質量流量計

產品型號

D07-9EM

產品類型

普通型

流量量程

20slm,30slm,50slm,100slm,150slm,200slm,250slm

產品精度

±2％F.S.

重復精度

±0.2% FS

線性

±1％F.S.

響應時間

≤4sec

工作溫度范圍

(5~45)°C

耐壓

3MPa

密封材料

氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene

輸入輸出信號

(0~5)VDC

電源

±15V

閥類型

無閥

溫度系數

- 無 -

零點飄移指標

- 無 -

電氣連接

D sub 15 pins Male

工作壓差范圍

≤0.02 MPa（20slm ≤F.S.≤100slm）,≤0.05 MPa（100slm ≤F.S.）

漏率

1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He）

標準接頭形式

VCR1/2”,雙卡套1/2”,雙卡套1/4”(滿量程≤60slm),雙卡套Φ12,雙卡套Φ6(滿量程≤60slm),雙卡套Φ8(滿量程≤200slm),雙卡套Φ10,雙卡套3/8”

表面化學成分

- 無 -

表面粗糙度

- 無 -

抗電磁干擾

- 無 -

重量

1.5Kg