D07-7CM氣體質量流量計標準接頭形式：雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ3,雙卡套1/8",φ4（內）?軟管接頭,VCR1/4",雙卡套1/4",φ6（內）?軟管接頭
D07-7CM氣體質量流量計技術參數：
產品型號 | D07-7CM |
產品類型 | 普通型 |
流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm |
產品精度 | ±1.5％F.S. |
重復精度 | ±0.2% FS |
線性 | ±1％F.S. |
響應時間 | ≤10sec |
工作溫度范圍 | (5~45)°C |
耐壓 | 3MPa |
密封材料 | 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene |
輸入輸出信號 | (0~5)VDC |
電源 | ±15V |
閥類型 | 無閥 |
溫度系數 | - 無 - |
零點飄移指標 | - 無 - |
電氣連接 | D sub 15 pins Female |
工作壓差范圍 | ＜0.01 MPa |
漏率 | 1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He） |
標準接頭形式 | 雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ3,雙卡套1/8",φ4(內)×1軟管接頭,VCR1/4",雙卡套1/4",φ6(內)×1軟管接頭 |
表面化學成分 | - 無 - |
表面粗糙度 | - 無 - |
抗電磁干擾 | CE |
重量 | 0.92 Kg |
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